第二百八十四章:出乎意料的国内商家 (第2/2页)
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底储放装置,并将基底放置于基底储放装置上。”
“第四步:向制备仪器腔体内通入还原性气体,并将腔体内压强和温度调至制取时所需要的压强和温度。”
“第五步:向制备仪器腔体内通入气态硅源,在基底表面生成预设厚度的牺牲层。”
“第六步:控制时间,让单晶硅层在牺牲层上方形成。”
“第七步:将单晶硅层和牺牲层的连接体与基底分离。”
“七步程序,都可以使用计算机程序进行监控和控制,所(本章未完,请翻页)
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